박막공학 [5] Wafer의 제조, 단결정 성장 이론, 편석 계수 등박막공학 [4] MOSFET의 구성과 작동 원리, 주요 term박막공학 [3] Defect/ 불순물/ 고용 포화도(Solid Solubility)박막공학 [2] 반도체의 Band 구조와 Mobility박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집mayunchem.tistory.com  Thermal Oxidation은 크게 2가지로 나눌 수 있다. 하나는 Dry Oxidation이고, 다른 하나는 Wet Oxidation이다. 이들은 산소 기체 혹은 수증기를 사용하느냐에 따라 나눌 수 있다. Oxidation 방식에 대해 다루기 전, Si에 Oxidation 공정으로 만들 수 있는 SiO2에 대해 알아보자.  1. SiO2의 ..

박막공학 [4] MOSFET의 구성과 작동 원리, 주요 term박막공학 [3] Defect/ 불순물/ 고용 포화도(Solid Solubility)박막공학 [2] 반도체의 Band 구조와 Mobility박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집적도1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표mayunchem.tistory.com 1. Wafer의 제조 과정Wafer는 반도체 제품의 가판으로, 고순도 정련 + 단결정 성장 + 평탄화 과정을 통해 제작되며 N형 혹은 P형으로 제작된다.   1-1. Si 순도 키우기 (고순도 Si)  Si(실리콘)은 보통 자연 상태에서 암석이나 흙의 형태 (Ex. CaSiO3) 로 존재한다. 따라서 반도체 공정에 이를 쓰기 위해서는 환원과 불순물을 제거하는 과정이 ..

박막공학 [3] Defect/ 불순물/ 고용 포화도(Solid Solubility)박막공학 [2] 반도체의 Band 구조와 Mobility박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집적도1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표면에 단층 혹은 다층의 박막을 형성하고 미세한 형태mayunchem.tistory.com 1. MOSFET  MOSFET은 기본적으로 Source, Drain, Gate로 구성된다. Source와 Drain에 V_ds를 가하고 흐르는 전류 I_ds를 Gate Voltage(V_G)로 control 할 수 있다. 1-1. NMOS의 작동 원리  V_ g = 0 [V] Gate에 전압을 가하지 않으면, I_ds가 흐르지 않는 OFF 상태가 된다.  V_ g > 0 [V] ..

박막공학 [2] 반도체의 Band 구조와 Mobility박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집적도1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표면에 단층 혹은 다층의 박막을 형성하고 미세한 형태로 가공하여 재료의 기계적, 광학적, 전기mayunchem.tistory.com  1. Defect (결함) 물질에는 다양한 종류의 Defect이 존재한다. 1-1. 결함의 영향 결함은 물질에 많은 영향을 끼친다. 1) Defect의 Energy Level이 Eg 중앙에 위치할 경우, Recombination이 많이 일어날 수 있다. 2) 유용 불순물과 불유용 불순물을 포획하여 전기적 특성을 바꿀 수 있다. 3) Defect들은 전자와 정공을 Scattering 시켜 물질의 Mobility를 낮춰 소..

박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집적도1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표면에 단층 혹은 다층의 박막을 형성하고 미세한 형태로 가공하여 재료의 기계적, 광학적, 전기적, 자기적, 열적 등의 기능을 만드는 기술이다.  현재mayunchem.tistory.com    1. 반도체의 Band 구조  우리가 아는 기본적인 반도체 기본 band의 구조이다. 각각 band gap 등의 모습이 다양한 것을 확인할 수 있다. 1-1. 반도체에서 자유전자 & 정공의 생성  외부의 전자기파 에너지나 온도 에너지가 Eg를 넘게 되면 Valence Band에 있는 전자가 Conduction Band로 여기되어 자유 전자와 자유 정공을 갖게된다.  반도체에서 외부 에너지에 의해 여기된 자유전자나 자..

1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표면에 단층 혹은 다층의 박막을 형성하고 미세한 형태로 가공하여 재료의 기계적, 광학적, 전기적, 자기적, 열적 등의 기능을 만드는 기술이다.  현재 상품화된 거의 모든 소자(Device)는 박막 공학 기술을 이용한다. 2. 소재와 소자의 차이소재(Materials)물리적, 화학적 특성을 지닌 물질 자체를 의미ex) Si, Ge, GaAs... 소자(Devices)소재를 가공하거나 조합하여 만든 기능성 구조물로, 특성한 성능을 가짐ex) Transistor, Solar Cell, Capacitors, LEDs 반도체는 문맥에 따라 소재와 소자의 의미를 둘 다 가진다. 3. 반도체의 종류- 구성요소 별 분류1) 순수 반도체: Si, Ge2) 화합물: GaAs, Ga..