반도체 공정 [16] 박막공정 (2) PVD(Physical Vapor Deposition): Evaporation, Sputtering
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반도체 공부/반도체 공정
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반도체 공정 [4] 반도체 공정의 기초 (3) 플라즈마
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반도체 공부/반도체 공정
2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [3] 반도체 공정의 기초 (2) 진공(Vacuum) 반도체 공정 [3] 반도체 공정의 기초 (2) 진공(Vacuum)2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [2] 반도체 공정의 기초(1) ( cleanroom, 공정 설비 ) 반도체 공정 [2] 반도체 공정의 기초 (1) cleanroom, 공정 설비2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정]mayunchem.tistory.com   플라즈마(Plasma)  플라즈마는 고체, 액체, 기체가 아닌  제 4의 물질 상태로 '기체 상태의 분자나 원자가 이온화되어 양이온과 전자가 섞여있는 상태'로 국부적으로는 극성을 가지지만 전체적으로는 무극성 상태인(중성)..