(1) 금속 배선

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배선은 칩의 혈관으로, 소자보다 층이 많고 공정시간도 더 길다. 웨이퍼 공정 시간의 절반 정도를 배선 공정에 사용한다. 최근에는 metal line이 약 20층에 이르렀다.배선은 주로 transistor를 연결하여 NAND/ NOR 게이트를 만드는 역할을 한다. 1. 스케일링과 배선수십 년간 반도체 칩은 소자의 성능을 높이기 위해 scaling을 진행했다. 과거 트랜지스터는 1000nm, 즉 마이크로미터의 레벨이었다면 지금은 흔히 2-3nm 수준(source와 drain 사이의 거리)이다. 1nm에 보통 원자 3개 정도가 들어가므로 약 원자 10개 정도의 길이인 것이다. 이러한 반도체의 스케일링은 금속배선에도 영향을 준다. 트랜지스터의 크기가 줄어들면 역으로 배선의 성능은 감소한다. 이는 delay(지..