반도체 공정 [24] Doping 공정 (1) 확산 공정반도체 공정 [23] 산화 공정(Oxidation) (2) 산화막 성장, Deal -Grove Model2025.02.17 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [22] 산화 공정(Oxidation) (1) LOCOS, STI 공정 반도체 공정 [22] 산화 공정(Oxidation) (1mayunchem.tistory.com    확산 공정을 통한 도핑은,  도핑 농도와 접합 깊이를 제어할 수 없고, 등방향 도핑이며, 표면 저농도 도핑이 어려운 문제가 존재한다. 따라서, 이러한 문제점들을 극복하기 위해 고안된 방법이 입자 가속기의 원리를 이용하여 불순물을 주입하는 방식인 이온주입(Ion Implantation)이다.    이온 주입기는 B..