박막공학 [5] Wafer의 제조, 단결정 성장 이론, 편석 계수 등박막공학 [4] MOSFET의 구성과 작동 원리, 주요 term박막공학 [3] Defect/ 불순물/ 고용 포화도(Solid Solubility)박막공학 [2] 반도체의 Band 구조와 Mobility박막공학 [1] 정의, 소재와 소자, 반도체의 분류와 집mayunchem.tistory.com  Thermal Oxidation은 크게 2가지로 나눌 수 있다. 하나는 Dry Oxidation이고, 다른 하나는 Wet Oxidation이다. 이들은 산소 기체 혹은 수증기를 사용하느냐에 따라 나눌 수 있다. Oxidation 방식에 대해 다루기 전, Si에 Oxidation 공정으로 만들 수 있는 SiO2에 대해 알아보자.  1. SiO2의 ..

1. 박막공학이란?박막 공학이란, 기판의 표면에 단층 혹은 다층의 박막을 형성하고 미세한 형태로 가공하여 재료의 기계적, 광학적, 전기적, 자기적, 열적 등의 기능을 만드는 기술이다. 현재 상품화된 거의 모든 소자(Device)는 박막 공학 기술을 이용한다. 2. 소재와 소자의 차이소재(Materials)물리적, 화학적 특성을 지닌 물질 자체를 의미ex) Si, Ge, GaAs...소자(Devices)소재를 가공하거나 조합하여 만든 기능성 구조물로, 특성한 성능을 가짐ex) Transistor, Solar Cell, Capacitors, LEDs반도체는 문맥에 따라 소재와 소자의 의미를 둘 다 가진다. 3. 반도체의 종류- 구성요소 별 분류1) 순수 반도체: Si, Ge2) 화합물: GaAs, GaN,..