2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [9] 포토 공정(Photolithography) (5) EUV 기술 반도체 공정 [9] 포토 공정(Photolithography) (5) EUV 기술2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [8] 포토 공정(Photolithography) (4) 다중 패턴 (Multiple Patterning) 반도체 공정 [8] 포토 공정(Photolithography) (4) 다중 패턴 (Multiple Patterning)2025.02.12 - [반mayunchem.tistory.com   식각 공정이란 포토 공정에서 정의된 영역의 하부 박막을 제거해서 원하는 반도체 회로의 형상을 만드는 과정이다. 따라서 포토 공정에서..