
반도체 공정 [2] 반도체 공정의 기초 (1) cleanroom, 공정 설비
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반도체 공부/반도체 공정
2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [1] 반도체 공정의 개요 반도체 공정 [1] 반도체 공정의 개요8대 공정 반도체 공정은 기본적으로 박막에 Pattern을 만들고 이러한 Pattern이 위에 쌓이게 되면서 입체적인 구조에서 목적하는 기능을 구현하는 소자를 만드는 것이다. 따라서 막을 쌓고 이 막mayunchem.tistory.com 이전 글에서는 반도체의 8대 공정, 전공정과 후공정, Wafer에 대한 간단한 개념을 다루었다. 클린룸(CleanRoom) 반도체 장비는 매우 작은 먼지나 입자에도 성능이 크게 떨어질 수 있기 때문에, 굉장히 깨끗하고 청정한 공간에서 제작이 이루어진다. 이 공간은 온도, 습도, 먼지, 공조 등이 정밀하게 제어되고, 사람으로부터 발생하..