2025.02.17 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [22] 산화 공정(Oxidation) (1) LOCOS, STI 공정 반도체 공정 [22] 산화 공정(Oxidation) (1) LOCOS, STI 공정반도체 공정 [21] 금속 배선 공정 (3) Cu 전해 도금 (Electroplating): 다마신(Damascene) 공정반도체 공정 [20] 금속 배선 공정 (2) 알루미늄 배선과 구리 배선반도체 공정 [19] 금속 배선 공정 (1) MOL 공정: 실mayunchem.tistory.com  실리콘 웨이퍼는 공기 중에만 노출되어도 10 옴스트롱 정도의 자연 산화막이 형성된다. 그러나 반도체 소자는 보다 두꺼우면서 품질이 좋은 산화막을 필요로 한다. 따라서, 고온에서 산소 환경을 형성 ..