
반도체 공정 [3] 반도체 공정의 기초 (2) 진공(Vacuum)
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반도체 공부/반도체 공정
2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [2] 반도체 공정의 기초(1) ( cleanroom, 공정 설비 ) 반도체 공정 [2] 반도체 공정의 기초 (1) cleanroom, 공정 설비2025.02.09 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [1] 반도체 공정의 개요 반도체 공정 [1] 반도체 공정의 개요8대 공정 반도체 공정은 기본적으로 박막에 Pattern을 만들고 이러한 Pattern이 위에mayunchem.tistory.com 진공 (Vacuum) 반도체 미세 공정의 대부분은 챔버(Chamber)에서 진행되며, 이 챔버는 거의 진공상태이기 때문에 진공에 대한 이해는 필수적이다. 반도체 공정에서 진공을 사용하는 이유는 주위로부터의 오염 방지 및 감소와 M..