2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [11] 식각 공정(Etch) (2) 건식 식각과 플라즈마(Plasma) 반도체 공정 [11] 식각 공정(Etch) (2) 건식 식각과 플라즈마(Plasma)2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [10] 식각 공정(Etch) (1) 습식 식각, 건식 식각 반도체 공정 [10] 식각 공정(Etch) (1) 습식 식각, 건식 식각2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반mayunchem.tistory.com    RIE (Reactive Ion Etching, 반응성 이온 식각) 공정  건식의 주요 Etch 방식 중 Sputter 식각과 화학적 식각을 결합하면 어떻게 될까?   이 둘을 결합하게..