반도체 공정 [19] 금속 배선 공정 (1) MOL 공정: 실리사이드(Silicide) 공정, W-plug 공정반도체 공정 [18] 박막공정 (4) ALD(Atomic Layer Deposition)반도체 공정 [16] 박막공정 (2) PVD(Physical Vapor Deposition): Evaporation, Sputtering2025.02.12 - [반도체 공부/반도체 공정] - 반도체 공정 [15] 박막공정 (1) 박mayunchem.tistory.com   이전 시간에는 금속 배선 공정 중 MOL 공정 부분에 대해 알아보았다. 이번 시간에는 금속 배선 공정에서 사용하는 금속에 대해 알아보겠다.  BEOL 공정은 반도체 공정의 후반에 진행하는 공정으로, 금속을 이용하여 설계 목적에 맞게 배선을 ..